1. Purità
Il-purità tal-mira tat-titanju għandha influwenza kbira fuq il-proprjetajiet tal-films sputtered. Iktar ma tkun għolja l-purità tal-mira, inqas partiċelli ta 'element ta' impurità fil-film sputtered, u aħjar il-prestazzjoni tal-film (bħal reżistenza għall-korrużjoni, proprjetajiet ottiċi u elettriċi). F'applikazzjonijiet prattiċi, ir-rekwiżiti tal-purità tal-miri tat-titanju għal skopijiet differenti huma differenti. . Pereżempju, ir-rekwiżiti tal-purità tal-miri għal kisjiet dekorattivi ġenerali mhumiex esiġenti, filwaqt li miri għal ċirkwiti integrati, korpi tal-wiri u oqsma oħra għandhom rekwiżiti ferm ogħla għall-purità, ġeneralment madwar 99.999 fil-mija jew aktar.
2. Daqs medju tal-qamħ
Normalment il-mira tat-titanju għandha struttura polikristallina, u d-daqs tal-qamħ jista 'jvarja minn mikroni għal millimetri. Ir-rata ta 'sputtering tal-mira tal-qamħ ta' daqs fin hija aktar mgħaġġla minn dik tal-mira tal-qamħ oħxon. Id-distribuzzjoni tal-ħxuna tal-film depożitat bl-isprej hija wkoll relattivament uniformi. Id-daqs medju tal-qamħ tal-miri tat-titanju għal ċirkwiti integrati huwa ġeneralment meħtieġ li jkun fi ħdan 30 μm, u d-daqs medju tal-qamħ tal-miri tat-titanju ultrafine-grained huwa taħt l-10 μm.
3. Orjentazzjoni tal-kristall
It-titanju għandu struttura eżagonali ippakkjata mill-qrib. Matul sputtering, l-atomi fil-mira tat-titanju huma faċilment sputtered tul id-direzzjoni tal-arranġament eżagonali tal-atomi. Għalhekk, sabiex tinkiseb l-ogħla rata ta 'sputtering, huwa possibbli li tiżdied ir-rata ta' sputtering billi tinbidel l-istruttura tal-kristall tal-mira. rata ta' sputtering. Id-direzzjoni tal-kristallizzazzjoni tal-mira tat-titanju għandha wkoll influwenza kbira fuq l-uniformità tal-ħxuna tas-saff tal-film sputtered, u d-daqs tal-film tal-wiri ċatt u l-kisi dekorattiv huwa relattivament oħxon, għalhekk ir-rekwiżiti għall-orjentazzjoni tal-qamħ tal-mira tat-titanju korrispondenti huma relattivament baxx.
4. Ġeometrija u daqs
Huwa prinċipalment rifless fl-eżattezza tal-ipproċessar u l-kwalità tal-ipproċessar, bħal daqs tal-ipproċessar, flatness tal-wiċċ, ħruxija, eċċ Ħxuna żgħira se taffettwa l-ħajja tas-servizz tal-mira; Il-wiċċ tas-siġillar mhux maħdum wisq u l-kanal tas-siġillar se jikkawżaw problemi ta 'vakwu wara li l-mira tkun installata; roughening tal-wiċċ sputtering tal-mira jista 'jagħmel il-wiċċ tal-mira sħiħa ta' ponot li jisporġu 'l barra , taħt l-azzjoni tal-effett tal-ponta, il-potenzjal ta 'dawn il-ponot mgħollija jiżdied ħafna, u b'hekk tkisser il-ħruġ dielettriku. Madankollu, sporġenza eċċessivament kbira hija ta 'detriment għall-kwalità u l-istabbiltà ta' sputtering.
Kumpanija tagħna tista 'tipprovdi ligi tat-titanju bħalMiri ta 'Sputter ta' Aluminju tat-titanjuuTitanju Ti Sputtering Target, kif ukoll miri tat-titanju ta 'purità u forma differenti, u jaċċettaw ukoll servizzi personalizzati. Jekk meħtieġ, jekk jogħġbok ikkuntattjana bl-email.
